徕卡体视显微镜的徕卡显微系统是全球显微科技与分析科学仪器之专业厂商,总部位于德国维兹拉(Wetzlar, Germany),隶属全球科学与技术的创新者丹纳赫集团。
晶圆检测系统结合了德国Leica公司的光学显微镜,解决了半导体客户对8英寸及以下尺寸晶圆、第1/2/3代半导体材料晶圆传送和光学检测需求。该系统可以兼容第一~第三代材料,不透明材质\\半透明\\全透明材质的晶圆。该系统可以升级成为全自动检测系统(可以选配AOI/AI智能检测软件),可以针对特殊工艺晶圆、特殊标记Mark、双平边晶圆等进行相应的扩展或者改造,可以选配SMIF系统、SECS/GEM。
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