徕卡3D表面轮廓测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
3D表面轮廓测量仪对各种产品，部件和材料的表面轮廓，粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
徕卡3D表面轮廓测量仪产品功能：
1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；
2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；
3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；
4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；
5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；
6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具备word、excel等数据报表导出功能。
徕卡3D表面轮廓测量仪可用于标准的明场彩色显微成像、共焦成像、三维共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度测量。没有移动部件使其拥有坚固而紧凑的设计，同时也使得该探头适合很多OEM应用。极其简单的、符合人体工程学的软件界面使用户获得非常快的测量速度，只需方便地切换适当的物镜，调焦，并选择适当的采集模式即可。
